微型PECVD系统
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4路质子混气管式PECVD系统
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GSL-1700X-F3LV1700℃单温区三通道混气CVD系统GSL-1700X-F3LV
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GSL-1700X-4-C2HV1700℃两通道混气高真空CVD系统GSL-1700X-4-C2HV
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球形脉冲激光沉积系统（PLD）
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