RF-100-LD 100W小型手动匹配型射频电源_溅射镀膜类-沈阳科晶自动化设备有限公司手机版

详细介绍

产品型号	100W小型手动匹配型射频电源RF-100-LD
技术参数	1、电源：AC 110V-240V 50Hz/60Hz 2、输入功率：5W-100W（可调），稳定性±1% 3、射频频率：13.56MHz，稳定性±0.005% 4、匹配：手动匹配 5、冷却：风冷 6、噪音：<50dB
产品规格	尺寸：390mm×260mm×105mm
可选配件	1、1"高真空磁控溅射头，可自行搭建RF或DC溅射镀膜仪。 2、同时购买100W射频发射器和1"磁控溅射头时，本司赠送1个高真空快速接头。接头内径为0.75"，可将溅射　头安装在真空腔体上，真空腔体上的安装孔直径为1"，真空腔体的壁厚不得大于1"。 3、循环水冷机，流量为16L/min，水箱容积为6L。