产品型号

TF200-VIS

TF200-EXR

TF200-DUV

TF200-XNIR

主要特点

快速、准确、无损、灵活、易用、性价比高

应用领域

半导体（SiO2/SiNx、光刻胶、MEMS，SOI等）

LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亚酰胺ITO等)

LED (SiO2、光刻胶ITO等）

触摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率测试等)

汽车(防雾层、Hard Coating DLC等）

医学

波长范围

380-1050nm

380-1700nm

190-1100nm

900-1700nm

厚度范围

50nm-40um

50nm-300um

1nm-30um

10um-3mm

准确度（取决于材料0.4%或2nm之间取较大者）

2nm

2nm

1nm

10nm

精度

0.2nm

0.2nm

0.2nm

3nm

入射角

90°

90°

90°

90°

样品材料

透明或半透明

透明或半透明

透明或半透明

透明或半透明

测量模式

反射/透射

反射/透射

反射/透射

反射/透射

光斑尺寸（可选微光斑附件。）

2mm

2mm

2mm

2mm

是否能在线

是

是

是

是

扫描选择

XY可选

XY可选

XY可选

XY可选