VHS-10 扩散泵_扩散泵-安捷伦科技（中国）有限公司手机版

产品简介

VHS-10 扩散泵抽速可达 3650 L/s，可同时订购 ASA 或 ISO 法兰、标准或外延冷却帽，适用于多种电压。独特的凸型腔体可增加气体捕集，并能保持更低压力。所有 VHS 系列泵都配有观察镜/加油放油组件，便于对泵油进行连续监测和轻松维护。翅片式加热盘设计增大了表面积，延长了泵油的使用寿命。

这款蒸汽喷射泵非常适合工业应用，如真空炉、热处理、金属喷涂，以及光学镜片、电子产品和保护膜层的

详细介绍

VHS-10 扩散泵抽速可达 3650 L/s，可同时订购 ASA 或 ISO 法兰、标准或外延冷却帽，适用于多种电压。凸型腔体可增加气体捕集，并能保持更低压力。所有 VHS 系列泵都配有观察镜/加油放油组件，便于对泵油进行连续监测和轻松维护。翅片式加热盘设计增大了表面积，延长了泵油的使用寿命。

这款VHS-10 扩散泵非常适合工业应用，如真空炉、热处理、金属喷涂，以及光学镜片、电子产品和保护膜层的镀膜工艺。

特性

凸型腔体可增加气体捕集
液位观察镜可随时快速指示泵油状态
加油放油组件便于维护泵油
高通量
分馏喷嘴可纯化油，实现洁净运行
高前级耐压
完整热保护开关可在各种过热情况下提供保护
不锈钢泵体
翅片式加热盘设计增大了表面积，延长了泵油的使用寿命
标配速冷盘管

性能指标

冷却时间	25 min
抽速 — He/H2	4560 L/s
抽速 — 空气	3650 L/s
抽速 — 空气，通过 AVS 4.1 (1963)	5300 L/s
推荐前级泵	≥ 30 cfm (51 m3/h)
操作范围	1.7 x 10-3 至 <5 x 10-9 Torr 2.3 x 10-3 至 <6.5 x 10-9 mbar
最大前级耐压 — 无负载	0.65 Torr 0.85 mbar
最大前级耐压 — 满载	0.55 Torr 0.72 mbar
最大抽气量	6.3 T-L/s (8.4 mbar-L/s)
水冷 — 温度要求	60-80 °F 15-26 °C
水冷流速要求	0.40 gpm 80 L/h
注油量	1000 CC
泵功率	4400 W
泵油类型	油
泵重	150 lbs 68 kg
电气要求	3 相 50/60 Hz 208/240/380/480 V
输入电压	208、240、380、400、440、480、575 V
返油率	5.0 x 10-4 mg/cm²/min
连接水冷	1/8 英寸 FPT
预热时间	15 min

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