普发真空ADH 系列多级罗茨干式真空泵

用于最新工艺应用的新型高性能干式泵

新型高性能干式泵

ADH 系列专门为太阳能、半导体和 LED 市场的苛刻工艺应用而开发，为N2 和 H2 提供 600 至 4,500 m3/h 的高性能抽速。

半导体： H2 高抽速

ADH系列产品性能为您的工艺带来以下优势：

• ALD工艺处理量：小分子气体的高抽速效率可以允许更快的在工艺步骤之间排空腔室。

• 外延和EUV：高抽速和大流量公差符合苛刻的工艺规范。

太阳能和LED：氢气准备就绪

ADH系列为太阳能（a-Si 和 μ-Si PECVD）以及LED（MOCVDGaN，AlGaAs，AlGalnP...）提供最佳的氢气抽送效率。

无中间维护

所有轴承均经过了油润滑，不需要现场维护。通过改善粉末耐受性和冷凝管理，实现了较长的维护间隔以及泵寿命延长，这意味着降低了运行成本。

对工艺副产物的高耐受性

泵配备双重温度控制的水冷回路和集成的热氮吹扫，以防止粉末积聚或冷凝。强大的电机可以处理大量粉末，保证良好的重启能力。此外，精心挑选的材料可以承受腐蚀性化学清洗剂。ADH系列采用全新的监控系统进行升级，其功能有助于提高工艺可靠性。

用于低COO的高效率

在泵不用于该工艺时，智能模式可通过降低功率和氮消耗降低运行成本。得益于优化的设计，泵在同级抽送性能水平中可提供市场上最佳的功耗。优化的设计还可以降低发热量，从而降低冷却水流量。

坚固、安全

ADH系列的设计和材料能够承受极大的静态和动态内部压力应力。这确保在用于运行爆炸性气体（如氢气和硅烷）的应用时具有安全性。

应用领域

半导体 平板显示器 太阳能电池 LED

客户受益

■ 高达4,500 m3/h 的抽速，在N2 和 H2 中具有较高的性能

  使用50和60Hz电源具有相同的性能

■ 得益于润滑的轴承以及对工艺副产品的高耐受性，具有较长的维护间隔

■ 低功率和低耗水量实现低COO

■ 由于具有优异的抗静态和动态内应力，从而增加了安全性

普发真空ADH系列多级罗茨干式真空泵技术参数：