ULVAC爱发科低温泵

CRYO-U 系列

CRYO-U10HSP

ULVAC CRYOGENICS

CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同，从小型到大型有的产品阵容供您选择。

特点

1. 适合溅射应用。

2. 氩气容量是现有型号（U10H）的2倍。

3. 再生时间间隔延长意味着更高的可用性。

4. 可以进行多个连接（多3个）。

ULVAC爱发科  标准低温泵

新款ULVAC爱发科  标准低温泵压缩机单元

使用 安装组件可无需支架直接搭载

标配热传感器

热传感器可以监测真空泵温度的异常上升，通知油量的减少和泵的异常。

内置油雾过滤器的大容量油箱

大容量油箱（油容量：23~30L）减少油的更换频率。 油箱内置方便更换的盒式滤芯。

被油雾过滤器回收的油会自动回到泵内。 油净化装置去除混入的杂质。

特点

安装方向自由

安装方向没有限制，扩展了设备设计的自由度。

搭载控制器

控制器安装在主体上，有效地减少了布线并减小了排气系统的尺寸。

高压缩比・高排气圧力

高压缩比和高背压操作使得辅助泵可以实现小型化。

三种法兰可供选择

VG、ICF、ISO-K三种类型的吸气口法兰可供选择。

清洁真空

在运行时以及泵停止时，碳氢化合物的回流很少。

用途

分析设备、研究开发设备、实验设备等的主排气系统

蒸发设备、溅射设备等著排气系统

H2、He等轻气体主排气系统