台体

整机尺寸（mm）

700mmL*700mmW*720mmH

750mmL*750mmW*720mmH

880mmL*880mmW*720mmH

重量

85kg

100kg

160kg

卡盘大小

6" ,360 度转动, 可微调

8" ，360 度转动 ， 可微调

12"，360 度转动，可微调

卡盘行程和精度

6"*6" ， 精度 10um

8"*8" ， 精度 10um

12"*12" ， 精度 10um

卡盘材质

高透射玻璃或者镂空

固定方式

机械式压片固定，尺寸可调

卡盘升降功能

Chuck可以上下快速升降5mm 和微调升降 6mm，精度 1 微米

可选附件

射频校准台；chuck 360度快速移动；探针座平台升降；加热等

针座平台

类型

双面点针平台，单个平台最多可放置8个DR/L-100探针座

材质

U型平台，镀镍，与探针座之间具备更强吸附力，带接地端子

正面光学系统

显微镜类型

体式显微镜/视频显微镜/金相显微镜+CCD 成像系统

倍率范围

16X~100X/60X~420X/20X~4000X

显微镜行程

具备高刚性龙门架结构，XYZ行程分别为2 英寸*2 英寸*2 英寸，精度 1um

CCD 成像系统

200 万/500 万像素，帧率 60fps，带拍照、录像、测量功能

背面光学系统

显微镜类型

L型单筒显微镜

连续变倍比

0.75X~5X

倍率范围

40X~280X（可选高倍物镜增加倍率）

CCD 成像系统

200 万/500 万像素，帧率 60fps，带拍照、录像、测量功能

探针座

类型

DR/L-200m/V和DR/L-100m/V

X-Y-Z 行程

12.5mm-12.5mm-12.5mm

机械精度

0.5um/0.7um

夹具

漏电精度

10pA/100fA

接口形式

香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口/SMA /裸线等

其它

选件

屏蔽箱/防震桌/射频探针卡/光电流显微镜/大功率

电力需求

220V/50HZ