日立单束聚焦离子束系统介绍：

探针电流可达90nA，实现快速加工和大面积加工

采用高精度5轴电动机械优中心马达台

可在样品台移动（包括倾斜）时自动对多个部位进行多种加工

*的操作性能和多种多样的加工模式

截面制备程序加工

TEM/STEM样品程序加工

自动连续加工

TEM样品自动连续精加工软件

位图加工

Vector Scan加工

制备纳米精度三维结构样品

使用多路气体系统（MGS-II）修复电路

该系统可对应保护膜材料、配线材料、绝缘膜、加速蚀刻等多种用途，照射多种气体

钨沉积气体

铂沉积气体

绝缘膜制备用沉积气体

氟化氙蚀刻气体

有机类蚀刻气体

碳沉积气体

丰富多样的坐标链接功能

日立高新技术公司的坐标链接功能丰富多样，可确定正确的加工位置和大幅缩短时间

光镜图像与SIM像的链接

日立单束聚焦离子束系统双光标功能

与缺陷检测设备建立坐标链接

已截断的晶元或芯片也可与缺陷检测设备建立坐标链接

CAD联用导航软件