日立紫外清洗设备是利用紫外光和臭氧对样品表面污染物进行清理的前处理设备，主要针对样品表面的有机污染物，相比等离子清洗更加温和，对样品损伤小。  

清洗系统:  

2种清洗模式  

真空清洗和真空储存  

清洗时间范围为1min-24h（步幅1min）  

真空系统:  

无油真空系统（隔膜泵9L/min）  

3min内达到所需真空度  

真空范围为100-500torr(100步)  

清洗仓:  

样品尺寸:100mm(直径)x36mm(高)  

适合于各型号扫描电镜  

有效清理区域达100mm  

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