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日立120kV透射电镜HT7800
面议Tundra 冷冻透射电子显微镜 (Cryo-TEM)
面议Cary 5000 紫外可见近红外分光光度计
面议紫外可见近红外分光光度计UH5700
面议紫外可见分光光度计 Lambda 650/850/950
面议SPECORD® 250 PLUS紫外可见分光光度计
面议紫外可见分光光度计UV-1900i
面议紫外可见分光光度计UV-2600i/2700i
面议紫外·可见·近红外分光光度计 UV-3600Plus
面议组合式多功能X射线衍射仪Ultima IV系列
面议EXPLORER 多功能X射线衍射仪
面议赛默飞ARL EQUINOX 3000 X射线衍射仪
面议快速退火炉(RTP/RTA)是半导体材料和器件常用的一款工艺设备。快速退火炉可以在真空、惰性气氛、不同的工艺气体环境下使用。
VPO-300是一款很有特点的快速退火炉,有非常大的退火空间,适合大尺寸样品的热处理。
仪器特点:
- 快速热处理、快速热退火 RTP / RTA;
- 可在真空、甚至于高真空环境使用;
- 加热区域尺寸:300毫米 X 300毫米;
- 广泛用于太阳能电池片快速退火工艺,如156mm X 156mm电池片,300mm X 300mm电池片等;