GRYLLS/格里尔斯 品牌
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科氏液体质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器
科氏液体质量流量控制器5911D4主要技术指标
1 | 量程范围 | （0~5，10,20,30,50,100,200,300,500 ）SCCM （0~1,2,3,5,10,50,100,200,500 3000） SLM |
2 | 准确度 | ±1%F.S ±0.5%F.S |
3 | 线性 | ±0.5~1.5%F.S |
4 | 重复精度 | ±0.2%F.S |
5 | 响应时间 | 电特性：10sec 气特性：（1~4）sec |
6 | 工作压差 | 0.1~0.5MPa |
7 | 耐压 | 3MPa |
8 | 工作环境温度 | 0~70℃ |
9 | 数字量 | RS485 MODBUS协议 |
10 | 模拟量 | DC 0~5V ，4~20mA 可选 |
11 | 供电 | DC +15V/24V 可选，流量计＜400mA，控制器＜600mA |
12 | 电气连接 | DB15 |
13 | 漏率 | 1×10\u001F-8SCCSH |
