介质要求

洁净干燥无腐蚀性气体

介质种类

空气、氮气、氩气、氦气、甲烷、氧气等

量    程

0-50/100/500/1000sccm，0-5/20/50/100SLM

精    度

0.5% F.S. (0.3%可定制)

分辨率

0.01 SCCM

响应时间

≤50ms

环境条件

介质温度

-20~55℃

工作温度

0~60℃

工作湿度

不结露条件下0~95%RH

工作压力

0~1MPa

储存温度

-40~85℃

电气参数

供电电压

DC8-24V，纹波 ≤50mV

功      耗

＜1.2W（有屏幕）

＜0.3W（无屏幕）

启动时间

<1s

预热时间

30S     偏差小于±0.5%F.S.

10min   精度

通信接口

模拟信号（电压）

电流信号

4-20mA (线性对应量程)

电压信号

1-5V (线性对应量程)

接口类型

D-sub 9针

数字（RS485）

接口类型

RJ45

通信速率

4800,9600（默认）,14400,19200,38400,56000,57600,115200,

128000,230400,256000,460800,500000（可通过指令或者上位机修改）

协     议

RS485（默认Modbus-RTU，可定制私有协议）

设备地址

1(默认)-250(可通过指令或者上位机修改)

节点数

250

机械参数

接头类型

卡套：8mm、12mm、 3/8 inch，快插：6mm，8mm，其他可选

主体材质

底座：7075铝合金（可选316不锈钢），外壳：钢板镀锌

密封材质

FKM氟橡胶

防护等级

IP54

重量

0.5kg