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无锡市所在地
科里奥利质量流量控制器其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。
在大多数流量仪表上0.6%的读数精度
4 ms响应时间
无需预热
四个过程变量
内置的显示
工业协议
压力补偿
温度补偿
宽动态流量范围
科里奥利质量流量控制器技术参数：
1 | 量程范围 | （0~5，10,20,30,50,100,200,300,500 ）SCCM （0~1,2,3,5,10,50,100,200,500 3000） SLM |
2 | 准确度 | ±1%F.S ±0.5%F.S |
3 | 线性 | ±0.5~1.5%F.S |
4 | 重复精度 | ±0.2%F.S |
5 | 响应时间 | 电特性：10sec 气特性：（1~4）sec |
6 | 工作压差 | 0.1~0.5MPa |
7 | 耐压 | 3MPa |
8 | 工作环境温度 | 0~70℃ |
9 | 数字量 | RS485 MODBUS协议 |
10 | 模拟量 | DC 0~5V ，4~20mA 可选 |
11 | 供电 | DC +15V/24V 可选，流量计＜400mA，控制器＜600mA |
12 | 电气连接 | DB15 |
