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面议产品名称:INFICON薄膜沉积监控器(SQM-160)
品牌:美国INFICON
产地:美国
型号:SQM-160
美国INFICON英福康薄膜沉积监控器SQM-160介绍:
SQM-160 使用成熟的 INFICON 石英晶体传感器技术在薄膜沉积过程中测量速率和厚度。两个传感器输入为标准输入,另外四个传感器输入为可选输入。两个录像机输出可提供模拟速率和厚度信号。
传感器输入可分配给不同的材料,在大型系统中平均分配以实现精确的沉积控制,或者配置为双传感器。速率采样模式可在高速率过程中屏蔽传感器,从而延长传感器的使用寿命。速率显示为 0.1Å/s 或 0.01Å/s,用户可自行选择。此外,还可以选择频率或质量显示。凭借四个继电器输入,SQM-160 可控制来源或传感器屏蔽、信号时间和厚度设定点以及信号晶体失效。数字输入允许外部信号启动/停止和归零读数。
两个标准测量通道,另外四个可选
模拟输出便于记录速率/厚度
高分辨率选件:0.03 Hz,10 读数/秒
RS-232 标准接口,可选择连接 USB 或以太网
INFICON 是市场创新仪器、关键传感器技术和先进过程控制软件供应商,致力于提升高级工业真空工艺的生产率和质量。这些分析、测量和控制产品对于空调/制冷、汽车制造和售后服务市场的气体泄漏检测至关重要。它们对许多领域的设备制造商和最终用户意义重大,包括光学、平板显示器、太阳能电池和工业真空镀膜应用的半导体和薄膜涂层的复杂制造领域。我们真空工艺的其他用户分布于生命科学、科研、航空航天、包装、热处理、激光切割和许多其他工业工艺领域。我们还利用自身在真空技术方面的专业知识,为应急响应、安保、环境健康和安全领域提供有毒化学分析产品。