探针台探针的三种清洗方法
时间:2023-01-10 阅读:1403
探针台探针是电测试的接触媒介,为电子五金元器件。探针台可以将电探针、光学探针或射频探针放置在硅晶片上,从而可以与测试仪器、半导体测试系统配合来测试芯、半导体器件。这些测试可以很简单,例如连续性或隔离检查。也可以很复杂,包括微电路的完整功能测试。可以在将晶圆锯成单个管芯之前或之后进行测试。在晶圆级别的测试允许制造商在生产过程中多次测试芯片器件,这可以提供有关哪些工艺步骤将缺陷引入产品的信息。它还使制造商能够在封装之前测试管芯,这在封装成本相对于器件成本高的应用中很重要。探针台还可以用于研发、产品开发和故障分析应用。
那么,探针台探针该如何进行清洁呢?
1、毛刷清洁法:适用范围:5微米以上探针,微波探针。不适用于针尖直径在5微米以下的软针
拿一张A4白纸,撕成细长条的形状,尽量是撕成细长的三角形形状(大概5cm高左右)。将待清洁的装好到夹具上并置于显微镜下(体视显微镜即可,放大倍数太高无法操作),利用撕下的纸片作为毛刷,轻轻地将探针的沾污物刷下。
2、压针清洁法:适用范围所有探针,灰尘比较靠近头部的情况
拿一张A4白纸,裁成样品台大小(或适当的尺寸),固定于样品台上。将待清洁的装好到探针夹具上并置于显微镜下,慢慢下压探针,待接触到白纸后,向后移动,多尝试几次直到探灰尘脱落。
3、超声清洁法:适用范围:所有探针
取适量的蒸馏水置于烧杯内(烧杯大小以适合用户操作为宜),并放到超声波清洗机内。打开超声波清洗机,然后手捏住(注意戴丁腈手套),将针尖放入蒸馏水内,让震动把灰尘震落,可以隔一两分钟用显微镜观察一次,直到灰尘掉落为止。将 探针台探针放到适当的位置晾干后即可使用。