一、使用

　　操作前准备

　　在使用前首先需要进行正确的操作前准备。将设备准备齐全，如放置设备的地方要平整、稳定；加入正确的清洗工质，如氩、氧等；开启设备电源，预热设备达到工作温度。

　　样品清洗

　　根据待清洗样品的要求，正确设置清洗参数，如功率、工作压力、时间等。将样品放置于小型真空等离子清洗机内，启动设备并调整参数，开始清洗。清洗过程中要注意观察样品状况，保证清洗质量。

　　关机后操作

　　清洗结束后，要将样品取出并注意安全，切断电源，清洁设备内部，保证设备干净整洁。注意，清洗后的设备需要冷却一段时间，否则会造成设备故障。

　　二、维护保养

　　定期检查设备

　　在使用等离子清洗机的过程中，需要定期检查设备是否正常工作。如设备存在严重划痕、角落变形等问题，应及时更换设备零部件，保证设备正常工作。

　　及时更换耗材

　　设备的耗材如清洗盘、电极片等需要经常更换。定期检查并更换损坏耗材，保证设备使用寿命和工作效率。

　　清洁设备

　　定期清洁设备内部和外部，尤其是清洗室内部的异物和残留，以免对下次清洗造成影响。

　　校验设备参数

　　定期对设备进行校验，如功率、压力等参数是否正常。如发现参数异常，需要及时调整或更换设备。

　　通过以上方法可维护保养小型真空等离子清洗机，保证设备的长期稳定工作。