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本产品适用于高等院校、科研单位、研究所和*企业进行各种材料表面精密镀膜的研发,试样和小批量重复性制备。
一.集成度高:整套设备集成一级,二级真空泵,冷却水循环,内嵌一体化彩色触摸屏,触摸控制不同真空泵阀门的通断,不同蒸发舟的电流大小。节省实验室空间。
二.实时监控:腔内配有自主研发的精密压电陶瓷膜厚探头,实时监控镀膜表面的膜厚,检测精度可达1埃/秒(0.1nm/s)
三.多源蒸镀:配有三组蒸发源,蒸发隔板,支持在真空中切换蒸发源,实现不同蒸发源多层蒸镀;支持钼,钨蒸发舟。