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直接驱动电动位移台简述：
8MTL系列电动平移台采用三相无铁无刷伺服电机技术，可通过高精度，可重复性和低摩擦力实现零间隙运动。线性非接触式光学编码器可确保以亚纳米级的运动分辨率直接控制位置。氧化铝合金保证了高温稳定性，8MTL仪器的柔软性和优异的长周期运动学，无导向系统漂移。该平台占地面积小，可将其集成到高密度机器和狭小空间应用中，且可用于超净室和真空（高达10-3 Torr）应用。
8MTL1301-170
| 型号 | 8MTL1301-170-LEn1-025 | 8MTL1301-170-LEn1-050 | 8MTL1301-170-LEn1-100 | 8MTL1301-170-LEn1-200 |
| 行程 | 170 mm | |||
| 编码器类型 | Optical Encoder | |||
| 编码器分辨率 | 25 nm | 50 nm | 100 nm | 200 nm |
| 编码器光栅周期 | 20 µm | |||
| 绝dui精度: | ||||
| 校准前 | ±5 µm | |||
| 校准后 | ±1 µm | |||
| 双向重复精度(峰峰值) | ±0.15 µm | |||
| 双向重复精度(RMS) | ±0.10 µm | |||
| 最da速率(载重4kg) | <2000 mm/s | |||
| 载重(置于中心) | 30kg | |||
| 重量 | 4.1kg | |||
8MTL1401-300
| 型号 | 8MTL1401-300-LEn1-025 | 8MTL1401-300-LEn1-050 | 8MTL1401-300-LEn1-100 | 8MTL1401-300-LEn1-200 |
| 行程 | 300 mm | |||
| 编码器类型 | Optical Encoder | |||
| 编码器分辨率 | 25 nm | 50 nm | 100 nm | 200 nm |
| 编码器光栅周期 | 20 µm | |||
| 绝dui精度: | ||||
| 校准前 | ±5 µm | |||
| 校准后 | ±1 µm | |||
| 双向重复精度(峰峰值) | ±0.15 µm | |||
| 双向重复精度(RMS) | ±0.08 µm | |||
| 最da速率(载重4kg) | <2000 mm/s | |||
| 载重(置于中心) | 30kg | |||
| 重量 | 6.75kg | |||
直接驱动电动位移台8MTL120XY
| 型号 | 8MTL120XY-LEn1-025 | 8MTL120XY-LEn1-050 | 8MTL120XY-LEn1-100 | 8MTL120XY-LEn1-200 | |
| 行程 | 120 x 120 mm | ||||
| 编码器类型 | Optical Encoder | ||||
| 编码器分辨率 | 25 nm | 50 nm | 100 nm | 200 nm | |
| 编码器光栅周期 | 20 µm | ||||
| 绝dui精度 | 校准前 | ±4 µm | |||
| 校准后 | ±0.5 µm | ||||
| 双向重复精度(峰峰值) | ±0.15 µm | ||||
| 双向重复精度(RMS) | ±0.10 µm | ||||
| 最da速率(载重4kg) | <1000 mm/s | ||||
| 载重(置于中心) | 30kg | ||||
| 尺寸 | 240 x 360 x 75 mm | ||||
8MRL120-15
| 型号 | 8MRL120-15-MEn | |
| 角度范围 | 360 deg | |
| 编码器类型 | Optical Encoder | |
| 编码器分辨率 | 0.0000625 deg | |
| 编码器光栅周期 | 0.05 deg | |
| 绝dui精度 | 校准前 | ±218 µrad/ ±45.00 arcsec |
| 校准后 | request | |
| 双向重复精度(峰峰值) | ±7.30 µrad/ ±1.50 arcsec | |
| 双向重复精度(RMS) | ±2.90 µrad/ ±0.60 arcsec | |
| 偏心率 | ±5.00 µm | |
| 抖动 | ±19.40 µrad/ ±4.0 arcsec | |
| 最da速率(无负载) | <9000 deg/s / 1500 RPM | |
| 负载 | 水平 | 40 kg |
| 垂直 | 20 kg | |
| 转盘直径 | 90mm | |
| 中心孔径 | 15mm | |
| 重量 | 2.6kg | |
8MRL180, 8MRL250
| 型号 | 8MRL180 | 8MRL250 |
| 角度范围 | 360 deg | 360 deg |
| 编码器类型 | 1Vpp Analoge inductance | |
| 编码器分辨率 | 2 arcsec | 1 arcsec |
| 双向重复精度 | 5 arcsec | 4 arcsec |
| jue对精度(校准前) | 50 arcsec | 40 arcsec |
| 轴向跳动 | 30 µm | 30 µm |
| 径向跳动 | 30 µm | 20 µm |
| 最da速度 | 6600 deg/s | 3300 deg/s |
| 水平负载 | 12 kg | 20 kg |
| 垂直负载 | 12 kg | 15 kg |
| 转盘直径 | 180 mm | 250 mm |
| 重量 | 5 kg | 9 kg |
