TKF韩国TK-FUJIKIN过滤器 SS-A200-4VM优势_过滤器-远为国际贸易（无锡）有限公司手机版

产品简介

TKF韩国TK-FUJIKIN过滤器 SS-A200-4VM优势
TK-FUJIKIN 可以提供不同的元件类型，例如不锈钢和哈氏合金。
金属元件由SUS316L和哈氏合金经金属粉末特殊处理后
烧结而成，通过精细加工的孔径实现了与传统粉末烧结元件相比的高去除率、低压降。
采用哈氏合金、SUS 烧结的元件
在高压范围内仍具有稳定的过滤能力、出色的抗腐蚀和耐热性。
超高纯度在线气体过滤器
■ 全316L

详细介绍

TKF韩国TK-FUJIKIN过滤器 SS-A200-4VM优势

TK-FUJIKIN 可以提供不同的元件类型，例如不锈钢和哈氏合金。
金属元件由SUS316L和哈氏合金经金属粉末特殊处理后
烧结而成，通过精细加工的孔径实现了与传统粉末烧结元件相比的高去除率、低压降。
采用哈氏合金、SUS 烧结的元件
在高压范围内仍具有稳定的过滤能力、出色的抗腐蚀和耐热性。
超高纯度在线气体过滤器
■ 全316L 不锈钢结构
■ 高温和动态压力应用
■ 紧凑的尺寸和可变端接

特征■ 15 至 300SLPM 的宽范围流量■ 与大多数高纯度半导体工艺气体具有出色的兼容性。■ 3 纳米颗粒过滤能力以最小的压降保持高流动效率。■ 5Ra 电抛光表面可防止内部污染。■ 去离子水清洗后用热氮气烘烤，符合半导体工艺标准。■ Class 100 制造、清洁和包装环境。■ 100% 氦泄漏测试。订购信息

尺寸		联系
4	1/4"	虚拟机	MFS公型
6	3/8"	西南	乐型
8	1/2"

规格

移除评级	≥ 0.0025 ㎛
保留	大于 99.9999999999% 去除所有小至 0.0025 um 的颗粒
额定流量@10^9	15 SLPM
	60 升/分钟
	120 英寸/分钟
	200 升/分钟
	300 英尺/分钟
材料	滤芯	316L不锈钢
材料	电抛光外壳	SM/DM 316L 不锈钢
操作条件	最大入口压力	21 MPa (210kgf/cm2) 在 20 °C
	最大压差	15 MPa (153kgf/cm2) 在 20 °C
	最高工作温度	460 °C（惰性气体）
氦泄漏等级	1 x 10^-9 atm · cc / sec
表面处理内部	≤ Ra 5μin

方面

零件编号	一个/毫米	宽/毫米	厘米/毫米	深/毫米	E/毫米	F/毫米	唔
SS-A15-4VM	15.5	53	15.5	27	30	27	84
SS-A15-4SW	10	53	10	27	30	27	73
SS-A60-4VM	15.5	53	15.5	27	30	27	84
SS-A60-4SW	10	53	10	27	30	27	73
SS-A60-6(8)VM	19	53	19	27	30	27	91
SS-A120-4VM	15.5	96	15.5	29	33	30	127
SS-A120-4SW	10	96	10	29	33	30	116
SS-A120-6(8)VM	19	96	19	29	33	30	134
SS-A120-6(8)SW	12	96	12	29	33	30	120
SS-A200-4VM	15.5	98	15.5	35	39	35	129
SS-A200-4SW	10	98	10	35	39	35	118
SS-A200-6(8)VM	19	98	19	35	39	35	136
SS-A200-6(8)SW	12	98	12	35	39	35	122
SS-A300-4VM	15.5	98	15.5	35	39	35	129
SS-A300-4SW	10	98	10	35	39	35	118
SS-A300-6(8)VM	19	98	19	35	39	35	136
SS-A300-6(8)SW	12	98	12	35	39	35	122

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