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高精度气体质量流量控制器MFC及流量计MFM
面议大量程大流量气体质量流量计/控制器MFC
面议高精度低压损质量流量控制器MFC及流量计
面议微小流量小量程气体质量流量计MFM及控制器
面议模拟信号模拟量质量流量计及流量控制器MFC
¥3600高压力气体质量流量计及流量控制器MFC
面议Profibus、EtherCAT协议质量流量计及控制器
面议Can总线、DeviceNet协议质量流量控制器MFC
面议法兰连接的质量流量计及流量控制器MFC
面议层流差压式质量流量计/流量控制器MFC
面议高精度热式气体质量流量计/流量控制器MFC
面议SF6气体质量流量控制器MFC及流量计MFM
面议一、数字显示屏气体质量流量计及流量控制器MFC 产品概述:
◆ 热式原理,响应快,精度高
◆ 管状分流,不易堵塞
◆ 适用于各种低压和高压管道
◆ 预热时间短,零漂小,可靠性高
◆ 既带有数字量输入/输出,也带有模拟信号,可使用PLC或电脑等上位机以及二次表或流量计算机控制和显示流量。
此款质量流量控制器由质量流量传感器,层流分层件,流量控制器调节阀和放大控制电路等部件组成。它利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分布效应而制成。
二、产品应用:
真空镀膜 光纤光伏 半导体 新能源 石油石化
煤炭冶金 制气配气 环保 分析仪器 其它工业应用
三、数字显示屏气体质量流量计及流量控制器MFC 产品参数:
量程范围 | 低量程:2SCCM~30SLM;中量程30SLM~300SLM;大量程:300SLM~3000SLM |
测控范围 | 控制器量程比50:1 |
准确度 | ±1%F.S |
线性 | ±0.5%F.S |
重复精度 | ±0.2%F.S |
响应时间 | <2s |
数字量 | RS232/485,MODBUS协议 |
模拟量 | 0~5V、4-20mA、1~5V |
供电 | ±15VDC,24VDC |
工作温度 | 0~50℃ |
工作压力 | 流量计工作压降:<0.01Mpa; 流量控制器工作压差:0.05~0.5Mpa(根据具体量程而定) |
最大耐压 | 3MPa/10MPa |
电气连接 | DB15孔 |
漏率 | 1×10-9Pa m3/S |
温度系数 | ±0.025%F.S/℃ |
底座材质 | 不锈钢 |
密封材质 | 氟橡胶,氯丁橡胶,丁腈橡胶 |
接头 | φ3,φ6,φ8,φ10,φ12,1/4",3/8",1/2"... ... 卡套,VCR,快插,法兰连接等 |