一、产品简介

SuperView W1光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及 材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。

SuperView W1光学3D表面轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/AS-ME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

二、产品功能

1、设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、 角度等轮廓尺寸测量功能;

2、测量中提供自动对焦、 自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;

3、测量中提供自动拼接测量、 定位自动多区域测量功能;

4、分析中提供校平、 图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;

5、分析中提供粗糙度分析、 几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;

6、分析中同时提供- 键分析和多文件分析等辅助分析功能。