Pfeiffer Vacuum/普发 品牌
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广州市所在地
广州金程科学仪器公司供应的PFEIFFER VACUUM德国普发磁悬浮涡轮分子泵ATH 1600 M，Holweck 级 5 轴磁悬浮涡轮泵适合用于 N2的直至 1400 l/s 的吸气能力。ATH 1600 MT，DN 200 CF-F，外部驱动电子装置，水冷，加热。
使用集成 OBC 电子驱动单元或外部 Magpower 电子驱动单元操作
在任何方向安装
水冷
CE 标记/符合 RoHS
可用于腐蚀性应用的加热款型 (MT)
ATH-M 是半导体和涂料行业中的世界参考级紧凑型涡轮分子泵。适用于全球轻型工艺中的大型安装基地到 DN 200 和 DN 250 法兰尺寸的苛刻工艺
磁悬浮涡轮分子泵特点：
Holweck 级 5 轴磁悬浮涡轮泵适合用于 N2的直至 1360 l/s 的吸气能力
法兰 DN 200 CF-F 适用于超高真空时要求严苛的应用
使用外部 Magpower 电子驱动单元操作
用于在所有情况下的安装
水冷，加热
带有CE标志且符合 RoHS 标准
磁悬浮涡轮分子泵技术参数：
75°C 温度下，加热泵最高转速时的氢气流量 | > 16.9 hPa·l/s |
75°C 温度下，加热泵最高转速时的氩气流量 | 8.5 hPa·l/s |
75°C 温度下，加热泵最高转速时的氮气流量 | 16.9 hPa·l/s |
I/O 接口 | 通过外部驱动电子装置 |
冷却水流量 | 60 l/h |
冷却水温度 | 15-25 °C | 59-77 °F | 288-298 K |
冷却类型 | 水 |
启动时间 | < 6 min |
声压水平 | ≤48 dB(A) |
安装方向 | 随意 |
最大耗电量 | 650 W |
最终压力 | < 6 · 10-9 hPa | < 4.5 · 10-9 Torr | < 6 · 10-9 mbar |
最终压力下的功耗 | 300 W |
氢气抽气速度 | 540 l/s |
氢气的压缩比 | > 5 · 102 |
氢气的气流量 | > 67.6 hPa·l/s |
氦气的压缩比 | > 4 · 103 |
氦气的抽气速率 | 940 l/s |
氦的气流量 | > 67.6 hPa·l/s |
氩气抽气速率 | 1280 l/s |
氩气的压缩比 | > 1 · 108 |
氩的气流量 | 20.3 hPa·l/s |
氮的气流量 | 67.6 hPa·l/s |
氮气的压缩比 | > 1 · 108 |
用于氮气的抽气速度 | 1360 l/s |
电子驱动单元安装类型 | 外部电子驱动单元 –不包含- |
电源包的位置 | 外部电源包 |
腐蚀性气体型 | 是 |
转速 ± 2 % | 39,000 rpm | 39,000 min-1 |
轴承 | 磁铁 |
输入电压 | 200 – 240 V AC, 50/60 Hz |
连接法兰（入口） | DN 200 CF-F |
连接法兰（出口） | DN 40 ISO-KF |
适用于氮气的前级真空最大值 | 2.2 hPa | 1.65 Torr | 2.2 mbar |
重量 | 34 kg | 74.96 lb |
颗粒吸入 | 是 |
PFEIFFER VACUUM德国普发磁悬浮涡轮分子泵ATH 1600 M信息由广州金程科学仪器有限公司为您提供。
