晶圆烘箱外观结构：

★外壳采用A3冷轧钢板裁剪、打磨、酸洗、磷化等表面防锈处理后烤漆，工作室采用SUS304#洁净不锈钢板满焊、耐高温密封处理

★工作室内百级，采用进口 H14耐高温高效过滤器，过滤率0.3μm粒子99.995％以上

★隔热层采用120mm厚100K高密度硅酸铝纤维保温材料，表面温度＜45℃

★门框密封采用无氟硅橡胶密封条，耐高温，抗老化

★隔板可调整高度及增减数量

晶圆烘箱风路系统：

★采用密封内循环风路，减少氮气消耗

★采用倒U型风道结构设计，箱内两侧单向水平送风，风道仓内强压送风

★特殊可调导风板设计，保障工作室内送风均匀

★大功率三相异步耐高温长轴马达，不锈钢涡轮扇叶（出厂动平衡调整）结合不锈钢蜗牛壳结构结合两侧不锈钢冲孔风板，风力强劲，送风均匀，平稳，工作噪音<65dB

温控系统：

★不锈钢无尘加热器，洁净无尘

★PLC+7寸彩色触摸屏，HMI人机交互系统，中文操作界面，全自动程序运行模式， PID智能演算，自动恒温，超温保护，传感器断线保护，断电记忆功能，带氧含量、温度值，工作状态（排氧、维持、加热、电磁阀、及故障等）监控界面、程序设定界面、历史曲线界面、历史数据功能，可通过USB导出数据，搭配PC端温度数据处理软件

★采用导轨式智能AI温度控制模块，控温精度0.1级，自动恒温，智能PID演算，带30段程序升温，带传感器断线警报，AT自整定，超温控制，断电记忆功能，控温准，稳定性好

★高精度PT100不锈钢铠装铂金电阻温度传感器

安全系统：

★按键锁

★超温保护

★电流过载保护

★漏电保护

★接地保护

规格参数：