Surf-Cal微粒尺寸标准品

Surf-Cal微粒尺寸标准品

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2019-05-23 10:09:10
784
属性:
供货周期:现货;主要用途:用于扫描表面检测系统(SSIS)的校准和维护;
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现货
主要用途
用于扫描表面检测系统(SSIS)的校准和维护
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广州誉维生物科技仪器有限公司

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产品简介

使用赛默飞Surf-Cal微粒尺寸标准品(干),粒度标准简化校准晶片的制备,用于扫描表面检测系统(SSIS)的校准和维护。可用的粒径对应于仪器制造商要求的校准点尺寸。

详细介绍

赛默飞已设计生产了特定大小的微粒用来校准用于半导体工业的扫描表面监测系统(SISS)。

通过与仪器生产商合作,研发生产出Surf-Cal微粒尺寸标准品(干)系列产品以满足SEMI 标准规则要求。可提供的微粒尺寸包括半导体技术蓝图 (ITRS)1定义的关键的尺寸节点的大小。

使用赛默飞Surf-Cal微粒尺寸标准品(干),粒度标准简化校准晶片的制备,用于扫描表面检测系统(SSIS)的校准和维护。可用的粒径对应于仪器制造商要求的校准点尺寸。

 

特点:

 

测量方法:

为了确保能直接溯源至NIST,这些产品获得认证的直径是通过投射电子显微镜,或光学显微镜由NIST标准参考物质2转移而得的。不确定度是根据NIST技术注释1297, 1994版―评估与表达NIST测定结果不确定度的导则3计算而得。认证证书中标明的不确定度值是采用覆盖因子2(K=2)扩展后的不确定度。

峰值直径是采用微粒尺寸分布±2s的范围计算而得。计算的尺寸分布作为峰值的标准偏移图。变异系数是指一个标准差与峰值直径的百分比。FWHM分布是半峰值高的分布占据峰值直径的百分比计算而得的。

1. ―半导体技术蓝图 (ITRS)‖, 半导体工业协会 (1999)

2. S.D. Duke 与 E.B. Layendecker, ―采用电子显微镜进行亚微球粒子的尺寸校准的标准方法‖, 精密粒子协会 (1988)

3. Barry N. Taylor 与Chris E. Kuyatt, ―评估与表达NIST测定结果不确定度的导则‖.NIST 技术注释 1297, 1994 版, 9月,1994.

 

技术参数

成分:聚苯乙烯

密度:1.05g/cm3

折射指数:1.59@589nm(25°C)

添加剂:无

 

标称直径

瓶装规格

大约数量/g

货号

均一的 PS-DVB 干微球 – 光学显微镜校准

5 μm

1g

1.4 x 1010

DC-05

μm

1g

8.4 x 1010

DC-06

μm

1g

5.5 x 109

DC-07

μm

1g

4.3 x 109

DC-08

10 μm

1g

1.8 x 109

DC-10

15 μm

1g

4.3 x 108

DC-15

20 μm

1g

2.3 x 108

DC-20

25 μm

1g

1.1 x 108

DC-25

50 μm

1g

1.4 x 107

DC-50

70 μm

1g

5.7 x 106

DC-70

100 μm

1g

2.0 x 106

DC-100

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