1、目 的
本试验测试洁净台在正常运转下是否能达到洁净度的要求。
2、仪器
尘埃粒子计数器(粒径分辨率由0.3μm或0.1μm起始),最小采样速度为2.83L/min。
3、方法
洁净度的检测方法按以下步骤进行：
a) 将洁净台的气流流速设置为生产厂商规定的zuidi值，并将玻璃窗开启到生产厂商规定的最高 值，双面操作的洁净台应将两面的玻璃窗都开启到生产厂商规定的最高值，无玻璃窗操作口的洁净台可直接检测；
b) 生产厂商在工作台面向上200mm,测试区域边界与洁净台的内壁及操作口的距离应为100mm;
c) 除在测试区域四个角布置采样点外，还需在测试区域内沿中心线平均布点，测试区域内的采样 点数目不得少于5个；
d) 每个采样点的采样次数不得少于3次，每次采样量应不小于5.66 L;
e) 粒子计数器的采样口应正对气流方向。
洁净台工作区≥0.5μm尘埃粒子数应≤3520个/m³,≥5μm尘埃粒子数应≤29个 注：即洁净ISO等级5(100级)。
