精密气浮隔振光学平台的主要应用
时间：2023-12-13 阅读：685
精密气浮隔振光学平台能够满足精密负载对振动隔离需求，上面板采用优质高导磁SUS430不锈钢，台面内核为三层夹心式蜂窝结构，内核密度大幅度提高，具有优秀的硬重比和刚性，同时保证了较低的固有频率，具备行业较高的隔振效果。上台面采用精密磨削工艺，平面度可达≤0.05mm/㎡，表面粗糙度<0.6um，回旋打磨工艺清除毛边，达到无反射、哑光效果，面板具有M6阵列螺孔，易于固定光学元件。气浮支架采用整体焊接工艺（四支撑或六支撑结构），半膜片式空气弹簧，采用进口三水平调节阀技术，反应灵敏，响应迅速，在超载偏重的实验条件下，能瞬间恢复初始的平衡状态。支撑腿内部为二级气室结构，气室间带有阻尼孔，气动元件全部采用德国FESTO产品，标配优质大功率压缩机，整体结构保证平台有较高的稳定性。
应用：
显微镜系统、激光测试、光学制造、光电仪器研发与测试、生物医疗、精密机械制造、精密化工和无损检测、集成电子电路、拉曼光谱实验、精密检测校准、对振动要求高的仪器设备。
中心为蜂窝/井字钢支撑结构，底板为碳钢，在保证隔振性能得同时，提高了刚性、稳定性，台面精磨；
气浮支架采用囊式空气弹簧，每个支撑腿配备由单独气室；
采用整体焊接四支撑结构，下方为阻尼隔振垫，隔振性能好；
气浮支架底部带有高度调节功能，可以解决地面不平引起的支架扭曲、变形等情况；
采用原装德国FESTO空气伺服系统, 自动调整水平；瞬间达到初始的平衡状态,提高光学隔振平台的隔振效果。