上海某前沿科创企业 TLRB系列标准型基础测试探针台 交付验收

核心指标：

真空吸附卡盘：6英寸

样品台位移精度：<10μm

探针座位移精度：<3μm

漏电流精度：<10pA

兼容多种光学显微镜，可外引光路实现光电mapping测试

是半导体材料或器件电学测试的理想选择。

TLRB系列探针台简单介绍：

.模块化设计，可以搭配不同构件完成不同测试；

. 最大可用于12英寸以内样品测试;

.探针台整体位移精度高达3μm，样品台精密四维调节；

. 兼容多种光学显微镜，可外引光路实现光电mapping测试；

. 满足1μm以上电极/PAD使用;

. 漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内）;

. 探针座采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计;

. 加宽探针放置架，可放置6个DC探针座/4个RF探针座；

. 配显微镜二维精密调节功能，且可选配多种行程及驱动方式。