产品介绍

谱量光电研发生产的三线摆式高性能气浮隔振光学平台，是我司结合多年在隔振领域的研发及应用经验，为超高精密实验需求开发的一款高性能气浮隔振平台，对标业内顶级品牌，支腿为独立式圆腿支撑，无整体共振，内部三线摆设计可将振动隔离到更低的水平，并在受到干扰后实现高精度工作台重新定位，层流阻尼技术大大提高阻尼效率，混合腔设计极大增加给定尺寸下的柔性体积，同时有效降低了固有频率。

技术优势

• 微米级层流阻尼

• SMC 纳米级高流量气动执行元件

• 高性能气动减振器，共振频率可低至 1Hz

• 支腿顶部配有安全连接件，大大提升安全性

• 混合腔设计有效提高了工作稳定性与极低的固有频率

• 三线摆设计有效隔离振动并在受到干扰后实现高精度复位

• 顶部调节装置可轻松完成±10mm 调节

• 优于行业的蜂窝粘接焊接技术

产品展示

产品细节

技术参数

测试数据

减振效率：垂直：5Hz 时：91％；10Hz 时：94％，水平：5Hz 时：92％；10Hz 时：97％

静态振幅测试结果：0.00192

固有频率测试结果：垂直固有频率 1.40625Hz

水平固有频率 1.25Hz

产品型号