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LMT-B系列精密型二维材料转移平台是我司根据客户应用,自主研发的低维材料异质结器件转移产品,适用于石墨烯、硫化钼、黑磷等单层材料精确定点转移,以及多层范德华异质结的制备,实现了低维材料转移的可视化操作。精密型二维材料转移平台由单筒金相显微镜、精确控温系统、真空吸附系统、高精度四轴样品台及五轴衬底载物台等组成,目标衬底载物台可面内大角度旋转,是研究异质结特性、空间反演对称性破缺、以及二维材料不同堆叠方式影响的有力工具。
集成化设计,易操作
高分辨金相成像,实现μm级尺度转移
高位移精度,无回程差设计
精确控温模块,适用多种材料
魔角超导
二维材料堆叠
范德华异质结制备
异质结空间反演对称性破缺
参数 | 指标 |
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衬底载物平台 | XY方向两轴手动平移,台面60mm x 60mm,行程25mm,调节精度优于2μm;绕Z轴旋转调节,台面φ85mm,360°粗调,±5°精调,可视分辨率优于0.8′;水平倾斜调节范围±2°,最小调整量5′;真空吸附加热样品台,高温~240℃,PID温控器,控温精度优于±0.1℃,高热导率加热台面,散热冷却模块,升降温速度快。 |
载玻片位移平台 | XYZ方向三轴手动平移,台面80mm x 80mm,行程25mm,调节精度优于2μm;绕Z轴旋转调节,台面φ110mm,360°粗调,±5°精调,可视分辨率优于0.57′,定制高稳定载玻片夹具,装夹方便。 |
单筒金相显微镜 | 变倍比1:6.5,变倍范围0.7X-4.5X,20倍复消色差超长工作距离物镜(29.56mm),综合放大倍数~900倍,高稳定显微调节支架,高倍下图像无明显抖动。 |
显微镜二维调节 | 显微镜整体XY二维调节,行程50mm,精度高达2μm,可在二维材料贴合之后,大范围调整显微镜观察视野。 |
成像相机 | 1200万像素高灵敏度彩色数字相机,高清成像,提供相机操作软件。 |
高清显示器 | 24英寸2K高清显示器,配置高稳定方向调节支架。 |
集成式电控机箱 | 系统电控集成,控制样品台加热、冷却模块、温控模块、真空吸附。 |
真空泵 | 吐出空气量7L/min,达到真空度-33.3Kpa,耐用时间超过10000小时。 |
选配功能 | 探针台模块、光学隔振平台、PDMS热释薄膜、二维材料(机械剥离器、块材)、物镜(10X、100X)、电动调节模块、手套箱环境使用等。 |