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声光偏转器(AODF)
—Gooch&Housego 公司
G&H声光偏转器(AODF)可以对光束进行精确的空间控制,无论是进行1维或2维扫描,还是通过固定的角度进行光束偏转。我们的声光偏转器在全扫描角度上提供高度均匀的衍射效率,并为材料处理和数字成像等扫描应用提供一致的功率吞吐量。
在AO偏转器中,RF声波通过晶体时会衍射光。因此,通过保持声波的功率恒定并改变其频率,可以改变或扫描输出衍射束的角度。衍射角的总可能范围很小,通常不超过几度,从而可以在该角度范围内分辨出几百个至最多约两千个点(或1 / e强度级别与光束直径重叠)。扫描时间可能快至几微秒。可分辨光斑的总数由声波在AO晶体中穿过光束所需的时间(为访问时间)和工作频率带宽定义。 G&H提供多种标准偏转器和RF驱动器,适用于266-1500 nm的波长。
选择正确的RF驱动器对于实现所需的扫描速度和精度很重要。扫描或写入应用中使用的偏转器需要稳定且高度线性的可变频率源。
二维UV光束扫描可通过串联两个UV偏转器来实现。我们具有相位同步输出功能的灵活功能AODF双驱动器为2D扫描提供了RF驱动器控制。
衡量偏转器的主要参数有:1.偏转的角度范围;2.分辨率。偏转的角度范围是激光束的可变角度,它取决于器件的频率范围。
G&H公司可以为批量的OEM应用提供定制化的AOD解决方案或者高速的多通道声光偏转器(multi-channel deflectors)。
产品参数特点:
波长范围:266nm 到 1550nm
驱动频率:55MHz 到 432MHz
扫描角度:最高可达60mrad
产品型号:
产品型号 | 偏转模式 | 工作波长 | 射频频率 (MHz) | 通光孔径 (mm) | 衍射效率 | 扫描角度 (mrad) |
4070 | Longitudinal | 9.4um | 50-90 | 直径:9 | 80% | 60 |
4200-UV | Longitudina | 266nm | 135-265 | 1*60 | 80% | 5.5 |
4170 | Longitudina | 355nm | 130-210 | 7*20 | 80% | 4.9 |
4100-UV | Shear, on Axis | 364nm | 75-125 | 4*14 | 80% | 29.5 |
4200-VI | Shear, on Axis | 405-488nm | 150-250 | 直径:4.8 | 70% | 58 |
4090-7 | Shear, on Axis | 440-532nm | 60-115 | 直径:8.5 | 70% | 44 |
4100-VI | Slow Shear | 488nm | 75-125 | 4*14 | 70% | 39.5 |
4085 | Slow Shear | 750-1064nm | 55-110 | 3.5*14 | 70% | 42.5 |
4055-4 | Shear, on Axis | 780-980nm | 35-70 | 3.5*14 | 80% | 44.3 |
4200-IR | Longitudina | 830nm | 140-280 | 2*6 | 35% | 27.6 |
4075-IR | Longitudina | 1065-1100nm | 59-91 | 直径:2.5 | 70% | 8.1 |
应用领域:
数字成像,外差干涉测量,激光冷却,激光打标,光镊,材料加工,微机械加工,显微镜,在线过程控制,光学检查,光刻,印刷