WM系列规格

无图案300mm晶圆表面检测系统

WM-10R是300mm晶圆的标准型号

是48nm的高灵敏度检测系统。

WM - 10R is a standard model of 300 mm wafer.It is a high sensitivity inspection system of 48 nm.

200mm以下无图案晶圆表面检测系统

WM-7系列是200毫米晶圆尺寸以下最的合理的高性能型号。

WM - 7 series is the most reasonable high - performance model below 200 mm wafer size.

1. 独的创高灵敏度光学系统

• WM-10R 有 2 轴粒子入射角。

• WM 系列有 2 个宽数值孔径镜头，用于高灵敏度检测。

2. 高分辨率 XY 位置螺旋扫描

• WM系列是带转速控制的螺旋扫描方式。

• XY-数据发送到 EB 审查设备，然后可以通过轻松对齐进行审查。