日本takano 晶圆视觉检测设备Vi系列

我们高速、高精度地检查晶圆布线图案、裂纹、异物污染等产品外观。

●产品信息

Vi系列规格

        Vi-4207R、C               Vi-4307M，C               Vi-5301M  

晶圆尺寸         ～200毫米          ～300毫米                   ～300毫米

处理                 机器人                          机器人                         机器人

装载机     打开盒式磁带                开放式盒式磁带、FOUP、FOSB

缺陷尺寸(μm)             1.2/ 2.4/5.0（物镜10x/5x/2.5x）     

尺寸         W2280xD1140xH2060    W2280xD1140xH2060  宽2600x深1440x高1790

重量                 1650公斤                    1700公斤                2800公斤

应用    CMOS图像传感器、功率器件、RF滤波器、MEMS、玻璃、TAIKO晶圆

1. 缺陷示例

2、按区域（层）分类精细检测

●区域分类根据器件图案的特征实现多种检测灵敏度和容差。

●每个区域都可以有检查参数。

3.通过各种照明和彩色图像来精细化图像

●灰度检测无法检测到的缺陷可以通过彩色检测来检测。

●各种光的组合使看不见的缺陷变得可见。