koenn超声波马达Nanomotion Inc

koenn超声波马达Nanomotion Inc

Nanomotion Inc. 的超声波马达可以显着移动载物台并以纳米精度定位。
用于半导体设备真空室中的晶圆传送和电子显微镜的微动。
这种超声波马达将称为元件的突起压在载物台上并高速振动以移动载物台。请试用与一般电动机不同的结构简单的执行器。も内蔵しています。位置制御、荷重制御、圧力制御に適しており、入力段は、3 入力（ SIG、FB1、FB2 ）加算型となっています。特に FB2 は指令信号とフィードバック信号が同極性の場合に対応する為に、インバータ回路が内臓されていす。入力信号は電圧（±10V）と電流（4-20mA）に対応しています。出力段は、定格電流が±100mA までのノズルフラッパ型サーボ弁を直接駆動する電流出力となっています。又、電圧入力（±10V）型サーボ弁（直動弁、三段型サーボ弁）駆動用に電圧出力にも対応しています。

主要规格