photonic-lattice厚度/折射率测量椭偏仪 ME 系列

photonic-lattice厚度/折射率测量椭偏仪 ME 系列

这是一款高速映射椭圆仪，可以测量 φ8″ 晶圆的整个表面（最大⌀300 mm 是可选的），可以高速和高密度测量 1 nm 或更小的膜厚度变化。它
支持各种膜厚分布测量。
从显微镜尺寸到大尺寸（约 50 cm），我们备有与测量对象相对应的产品系列

这是一款测量范围为 0 至 130 nm 的低相位差设备，它以 500 万像素的高分辨率高速测量双折射/相位差的分布。

一种可以在显微镜视野中测量双折射的类型。

附带的显微镜可以从奥林巴斯或尼康中选择。

PA-micro-S 是没有显微镜的只有测量头的产品。

这是一款测量范围为 0 至 130 nm 的低相位差设备，它以 500 万像素的高分辨率高速测量双折射/相位差的分布。

它是一种可以在线安装的类型，光源和测量台可以分开。

这是一款测量范围为 0 至 130 nm 的低相位差设备，它以 500 万像素的高分辨率高速测量双折射/相位差的分布。

它是一种可以在线安装的类型，光源和测量台可以分开。

photonic-lattice二维双折射评价系统PA-300系列