osakavacuum真空设备溅射设备101

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可获得无油超高真空

・由于气体分子被机械排气（动态排气），所以所有气体的排气速度几乎相同。

・可排出稀有气体、腐蚀性气体。

・可连续排出大流量气体。

・工作压力范围广。(~10 -10帕)

采用油脂润滑的滚珠轴承，体积小、重量轻、成本低。此外，它是一个追求涡轮分子泵新可能性的系列，具有高耐冲击性，TMP 可以安装在便携式设备和设备的运动部件上。我们拥有从 50L/s 到 2400L/s 级别的产品阵容。罗茨真空泵是通过旋转茧形转子来压缩和排气的真空泵。又名机械增压器，因为它是在油回转真空泵前级加装机械真空泵，以提高抽速。罗茨真空泵通常与能压缩到常压的真空泵配套使用，如干式真空泵、油旋式真空泵、液环式真空泵等

Osaka Vacuum的电机导向罗茨真空泵（RD系列、RA系列）设计紧凑，可轻松集成到系统中。我们还有一系列皮带驱动大型罗茨真空泵（R 系列），可用于需要大排气量的应用，例如大空间试验室。

◎作为罗茨真空泵的运行条件，吸入压力与背压之间存在允许压差。如果电机超出允许范围运行，电机会过载，发热量增加，无法冷却。因此，大阪真空的罗茨真空泵排气系统配备溢流阀，在超过允许范围时自动调节压力，即使在高吸入压力范围内也能最大限度地发挥排气能力。。（选项）

◎变频控制，可从大气压驱动，吸入压力低时可进行压力控制。此外，根据型号和地区的不同，可以通过提高转速来提高排气速度（最多可提高 40% 左右）。（选项）