HONDA本多电子  石英振动式超声波清洗机 W-357-1MQG-SKC

特征

以最小的损伤清洗具有精细图案的晶圆

■在石英振动体上叠加超声波来清洗半导体晶圆。

通过化学液将超声波振动从石英振动体传播到半导体晶圆，从而清洗接触区域的化学液振动并利用其加速度去除表面的污垢。

■实现对半导体晶片损伤较小的清洁清洗

与化学溶液接触的部分使用石英，与使用填料等橡胶材料的设备相比，可以实现无橡胶溶出或磨损的清洁清洁。

■配备振动器冷却功能，通过气体（氮气等）冷却振动器，可稳定连续运行，无频率波动。

此外，通过冷却，不会出现突然的温度变化，从而延长了使用寿命

HONDA本多电子  石英振动式超声波清洗机  W-357-1MQG-SKC

目的

去除抗蚀剂残留物

磨边后、灰化后去除聚合物

栅电极清洗

CMP后清洗

●输出可变范围：0W至12W（振动器允许输入：使用空气吹扫冷却振动器时，连续10W）

●使用周围环境：温度：15至35℃，湿度：10至85%

●外部驱动器触点 额定值：超声波振动控制（控制侧） 接点输入：DC12V 16mA以上

　警报输出（本装置） 接点容量：DC24V 0.5A

■附属电缆：电源线（AC100V/2m或AC200V 2.4m中选择）、控制线（5m）x4

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