液冷制冷机

• PTHC系列低温液冷机
  

• 双级复叠制冷
  

• 7英寸彩色触摸屏，中文显示，操作简便 、显示直观， 可显示 、记录 温度曲线和测试数据
  

• 氟化液或硅油
  

• 管道材质：SUS304，采用全密闭式结构设计
  

• -80℃ ~ 200℃
  

• 出口温度±0.5 ℃
  

• ± 0.1 ℃
  

• 设备导热介质温度反馈PT100 (回口温度 、 出口温度) ，控晶圆测试chuck盘温度
  

• 设备导热介质出口温度 (可选择控制物料温度)
  

• 0.01K
  

• MODBUS RTU协议、RS 485接口+以太网接口
  

• 外置测温传感器端口 、USB数据接口
  

• 试验执行时， 可实时显示图形曲线， 显示内容；温度设定实际值，执 行程序周期，程序执行中具有跳文件，保持功能。
  

• 风冷
  

• 设备运行状态实时显示，故障信息自动诊断， 多项报警保护： 电源故 障 ，压缩机过载 、循环泵热过载 、制冷低压报警 、 制冷高压报警 、超 温 、温度模块故障 、 电加热防干烧设计等保护功能。