半导体Chiller-精品推荐-普泰克（上海）制冷设备技术有限公司

产品简介

Chiller主要用于半导体制程中对多路反应腔室的精准控温，装置由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成，采用先进的控制算法，提高了chiller的稳定性、控温精度和反应速度。在带负载的情况下控温精度可达±0.5℃，可在-20℃~85℃之间任意控温，有良好的温度稳定性。

详细介绍

　　一、产品概述：

　　半导体Chiller主要用于半导体制程中对多路反应腔室的精准控温，装置由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成，采用先进的控制算法，提高了chiller的稳定性、控温精度和反应速度。在带负载的情况下控温精度可达±0.5℃，可在-20℃~85℃之间任意控温，有良好的温度稳定性。

　　半导体chiller由制冷，加热单元，循环，控制系统组成，全密封结构对环境友好，产品系统多，控温范围广，智能化控制软件，加热制冷速度快。

　　二、产品分为：

　　1.单通道系列

　　2.双通道系列

　　3.三通道系统

　　三、半导体Chiller细节展示：

　　四、半导体chiller参数说明：

五、产品图片展示：

　　六、我们的优势：