INFICON复合真空计

INFICON复合真空计

按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的真空计分为三大类，分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的真空计。

利用力学性能的真空计典型的有波尔登规（Bourdon）和薄膜电容规；利用气体动力学效应的典型真空计有皮拉尼（Pirani）电阻规和热电偶规；利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。

与皮拉尼电阻规一样，这种规也需要在不同的使用气体下标定。

热阴极电离规

测量范围一般与在0.1Pa至1000Pa。

图5 热阴极电离规

如图5所示，热阴极电离规中，由热阴极即灯丝发射电子，电离真空中的气体分子，产生离子，由收集极收集产生的离子，形成离子电流，通过测量离子电流的大小即可推算出真空中气体分子的密度，进而得到气压大小。

这种规的测量范围一般为1.0E-05Pa至0.1Pa。

经改进后的热阴极电离规，Bayard-Alpert规，可以将测量下限降低至1.0E-09Pa。

由于不同气体在相同气压下的电离率不同，这种规在使用时也需要在不同气体下进行标定

在较高压力时(10～1Pa)利用压力差U型管压力计，麦克劳真空计，薄膜计，弹簧管压力计等。

在10～10Pa的中间压力范围，利用气体性质(热传导，粘性)的变化而做成的皮氏计、粘性真空计。

在低压力时，使用将气体分子电离而测量的电离真空计。

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INFICON PCG550 3PC1-001-0000

Infineon "FZ2400R17HE4_B9  "

infineon FF300R17KE3

Infineon FZ2400R17KE3_B9_S1

Intel EXPI9301CTBLK

INTELLIGENT IM483

Interface IBX-2130CM

INTERFACE IBX-2726CM

interface PCI-2130C

Invensys MP-5210-0-0-4