低温磁控型溅射仪特点

1.显示操作面为30°斜面，充分考虑操作的便捷和视觉体验，方便观察操作；

2.真空泵连接管路为金属波纹管，美观耐用；

3.微调阀调节灵敏准确，带有刻度标识；

4.真空泵抽速快，噪音低，适合实验室使用；

5.控制电路为控制板，工作稳定可靠；

6.显示控制操作部分布局合理，使用方便；

7.结构简单可靠，布局合理，维修操作空间大；

8.自动真空的进排气，关机自动放弃（标准版手动放气）

9.优化机型外观，整洁大方，体积灵巧；

10.数字方式定时，0-9999秒区间自主调节；

11.采用冷阴极磁控溅射靶头；

12.升降式上翻盖结构，更换样品方便快捷；

13.采用定制“凹”密封，更加方便操作；

14.增大样品处理室空间，φ150X110高硬度耐高温石英晶体；

15.定制型真空泵排气过滤器；

16.独立式升降样品台组件（标准为2支柱紧固型）；

u 石英处理室：Φ150mm,高度110mm;

u 溅射类型： 冷阴极磁控型二级溅射；

u 样台尺寸：150mm,样品台插孔61个可选；

可升降和手动旋转

u 样品更换：升降式上翻盖结构，上盖打开可独立支撑

u 靶材尺寸：Φ50（可选配定制高效率靶材）;

u 真空系统：型涡旋真空泵2L/S；

u 真空检测：定制皮氏计，配合真空指针表，灵敏可靠；

u 真空保护：20Pa配有微量充气阀调节工作真空；

u 真空泄压：自动进排气（无需手动放气阀）；