Cressington 108Auto

108AutoCressington 108Auto

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2024-11-19 13:20:33
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天津泰诺科学技术有限公司

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产品简介

Cressington 108C Auto 全自动镀碳仪是用于扫描电镜的的镀碳仪系统●的受反馈控制的碳棒蒸发系统可以在膜厚大约 20nm 左右进行多次蒸发,无须切削或调整碳棒形状。●108C Auto 中使用的高纯碳棒可以在高倍条件下得到高质量的镀膜效果。该镀膜系统结构紧凑,容易操作,抽真空周期短。选件 MTM-10 高分辨膜厚监控仪可以精确地得到所需的碳膜厚度。●使用新型的蒸发装置:电流和电压通过磁控头的传感线监控,蒸发源作为反馈回路中的一部分被控制。该蒸发装置使常规的碳棒具有优良的稳定性和重现性。功率消耗低,碳棒具有优异的重新蒸镀特性。蒸发源可以通过脉冲或连续的方式操作。●自动模式下,蒸发源按程序设定的电压和时间进行喷镀。手动模式下,的设计允许以脉冲或连续的方式操作,并通过旋钮控制输出电压。 ●可配备 MTM-10 高分辨膜厚监控仪(选件)(分辨率优于 0.1nm,-99.9nm 到+999.9nm)

详细介绍

技术规格:

样品仓尺寸:   120 x 120mm(高)   (4.75 x 4.75"),高强度不锈钢结构

溅镀材料:Bradley   型高纯度碳棒   (6.15mm, [1/4"])

溅镀优点:基于微处理器反馈控制,远程电流/电压感应;提供真空安全联锁装置,最

大180A,配有过流保护

样品台:可放置12 个标准 SEM 样品座,高度可在   60mm 内调节

模拟计量:真空   Atm - 0.01mb   电流: 0 - 200A

厚度监测器:   MTM-10 高精度厚度监测器(选配)

控制方式:   自动蒸镀控制,使用可编程电压控制和计时;可选择手动操作或自动控制

数字计时   (0 – 30 秒),数字电压设定   (0.1 to 6.0V)

电源:200-240 VAC, 50/60Hz

功率:1000VA (包括镀碳机和真空系统)

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