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技术规格:
样品仓尺寸: 120 x 120mm(高) (4.75 x 4.75"),高强度不锈钢结构
溅镀材料:Bradley 型高纯度碳棒 (6.15mm, [1/4"])
溅镀优点:基于微处理器反馈控制,远程电流/电压感应;提供真空安全联锁装置,最
大180A,配有过流保护
样品台:可放置12 个标准 SEM 样品座,高度可在 60mm 内调节
模拟计量:真空 Atm - 0.01mb 电流: 0 - 200A
厚度监测器: MTM-10 高精度厚度监测器(选配)
控制方式: 自动蒸镀控制,使用可编程电压控制和计时;可选择手动操作或自动控制
数字计时 (0 – 30 秒),数字电压设定 (0.1 to 6.0V)
电源:200-240 VAC, 50/60Hz
功率:1000VA (包括镀碳机和真空系统)