• 采用岛津*的Ｘ射线聚光透镜[集束毛细管透镜]，X射线只照射样品的50μmφ微小领域，实现高灵敏度、高精度分析。
• 可以在大气中进行从轻元素到重元素（Na～U：μEDX-1300；Al～U：μEDX-1200/ 1400）的分析。
• 配备双CCD（高倍率,低倍率）摄像头，可以在观察样品图像的同时方便地决定分析位置，进行分析。
• 标准配备无标样定量FP法、薄膜成分/膜厚分析用的薄膜FP法以及可以测定聚合物薄膜的背景基本参数（BG-FP）法。
• 作为微区Ｘ射线荧光光谱分析装置，在世界上*配备了5种1次Ｘ射线滤光片自动交换机构，可消除来自Ｘ射线管的特征Ｘ射线，提高信噪比。
• 配备多元素同时/自动扫描成图功能。采用高速扫描成图，在短时间内便可获得图像（μEDX-1200/1300）。追加透射观察单元（选购），也可进行透射Ｘ射线的同时测定。
• 配备电子冷却式高计数率检测器。无需液氮，可进行高精度分析。
  （μEDX-1400）
• 可轻松地进行电子材料/部件的镀层膜厚測定、异物检测、失效解析及成图分析。

                             
           印刷电路板焊接部分的分析             手机部件的扫描成图分析