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韩国NanoSystem非接触光学表面形貌测量系统
型号：NanoView-1800/NanoView-2400/NanoView-2700
高精度非接触式表面形貌检测
无损3D表面轮廓分析
宜用平台提供快速、高效的工艺流程的监控
全面、直观的软件提供了式样和应用灵活性
主要功能
3D形貌测量
高，深，间隔（从纳米级到5mm）
粗糙度（R参数）表面（S参数）
面积信息（体积，面积）
2D测量
NanoView可靠性在许多应用领域发挥性能。
NanoView 提供完整的表面形貌纳米测量和分析技术方案。
韩国NanoSystem非接触光学表面形貌测量系统
NV-Serise技术参数
型号 | NanoView-1800 | NanoView-2400 | NanoView-2700 |
测量原理 | 非接触三维 白光扫描干涉法（WSI）/移相干涉法（PSI） | ||
现场放大镜 | 1.0×（标配） | 1.0×（标配） | 1.0×（标配） |
物镜 | 单镜头 | 可选5个镜头（手动鼻轮） | 可选5个镜头（自动鼻轮） |
光源 | 白光LED光源 | ||
扫描方式 | 闭环控制压电促动扫描方式 | ||
纵向扫描范围 | Max 270um（可拓展到：5mm） | ||
纵向扫描速度 | ≤12um/sec（1X~5X倍率可选） | ||
倾斜 | ±3°（样品台倾斜） | 头部倾斜±5°（手动模式） | 头部倾斜±5°（自动模式） |
纵向分辨率 | WSI:＜0.5nm / PSI:＜0.1nm | ||
横向分辨率 | 0.2~4um（取决于物镜/视场放大镜倍率） | ||
台阶重复性 | ＜0.5%（1s） | ||
XY样品台行程 | 140×140mm（手动） | 230×230mm（自动） | 230×230mm（自动） |
XY样品台行程 | 50×50mm（手动） | 100×100mm（手动） | 100×100mm（自动） |
Z轴行程 | 30mm（手动） | 100mm（手动） | 100mm（自动） |
环境要求 | 温度：15~30℃，温度变化量：＜1℃/15min 湿度：＜60%，无凝结 | ||
