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写真化学膜厚测量装置
标准型号可测量膜厚对象：
抗蚀剂厚度
多孔膜
ITO
多晶硅
电池电极
玻璃粘合晶片
端点检测
贴合晶片等
自动映射膜厚仪
可测量膜厚对象：
抗蚀剂厚度
贴合晶片
多孔膜
ITO
多晶硅
电池电极
玻璃粘合晶片
带图案晶片等
分为：标准型号、红外透射式型号、自动映射膜厚仪、成像膜厚仪
写真化学膜厚测量装置
通用型膜厚监视器(标准型号)
● 可用作端点监视器
● 也可以对应粘接剂层、玻璃层等通常较难测量的材料
通用型膜厚监视器(红外透射式型号)
● 对应反射弱的薄膜材料
● 可对应卷对卷测量
自动映射膜厚仪
● 除了高速自动映射、等高线、3D图显示之外，还自动解析直方图等统计信息
● 标准对应φ100～300mm的圆形晶圆，也可对应方形被测物等特殊形状，可选配定制载物台板
● 可对应选配项目中的自动校准
成像膜厚仪
● 微细二维膜厚分布原位的可视化
● 通过在GUI上区域，计算微小区域的膜厚
