CIS 系列封闭式离子源分析仪

凭借优于 1 ppm 的检测限、在 mTorr 压力下直接采样以及用户友好的 Windows 软件包，CIS 系统将满足您*苛刻的应用。在线过程监测和控制、在使用点验证过程气体纯度、高真空残余气体分析和过程设备泄漏检查是这些系统*不可少的一些领域。

紧凑型设计

镀金离子发生器

该探头由一个四极质谱仪和一个安装在 2.75" Conflat ®  Tee 内的 CIS 离子发生器组成。控制单元直接安装在探头的馈通法兰上，并包含操作仪器所需的所有电子设备。CIS 接头的侧面端口提供用于将四极杆、灯丝和检测器保持在高真空状态的差动泵系统连接。该系统可以通过其标准 CIS 安装法兰 (2.75" CF) 直接连接到工艺室。该装置是自对准的，具有简单、坚固的设计。您可以清洁和重新组装探头，并在现场更换灯丝和电子倍增器，而无需致电工厂。

镀金离子发生器

整个离子发生器由镀金不锈钢制成。这减少了电离区域中的除气和背景信号，提高了长期稳定性，并允许在暴露于反应性和腐蚀性气体时进行操作。使用钨丝，可抵抗 WF 6和硅烷等腐蚀性和反应性气体，并延长使用寿命。电离器的封闭（气密）设计可防止常见的干扰物质回流到电离体积中。这会产生没有光谱重叠的峰。

探测器的选择

CIS 系列分析仪标配法拉第杯检测器（10 ppm 检测）和连续打拿极电子倍增器（1 ppm 检测）。该软件允许您在检测器之间轻松切换。

电子倍增器

多功能性

CIS 系统也可以用于所谓的“RGA 模式”。在这种模式下，装置具有较低的*小可检测分压，但也具有较低的*大工作压力。例如，RGA 模式用于溅射工艺的**阶段，此时腔室被抽空至低压，并检查真空质量是否存在泄漏和有害污染物。然后可以将装置切换到 CIS 模式，以便在较高压力下直接采样。

*全可编程性

提供标准 RS-232 接口以及完整的编程参考。可以控制和监控所有探头参数，并且可以获取数据以用于自定义应用程序。

视窗软件

模拟模式

CIS 系统由在 PC 上运行的实时 Windows 软件包提供支持。直观的图形用户界面允许快速轻松地进行测量。该程序是*全交互式的，使用户可以*全控制图形显示。可拆分屏幕进行双模式操作，刻度可设置为线性或对数格式，数据可手动或自动缩放。实时捕获和显示数据，或按给定时间间隔计划采集数据，以进行长期数据记录。功能包括用户可选择的单位（ppm、Torr、mbar、Pa 和 A）、可编程的音频和视频警报以及全*的在线帮助。该软件允许通过简单的质量标度调整、灵敏度校准、离子发生器设置和电子倍增器增益调整实现完整的 CIS 磁头控制。为了进一步分析，数据文件可以以 ASCII 格式保存，以便于传输到电子表格中。图形图像可以保存为 META 文件或复制到剪贴板以导入其他 Windows 程序。该软件还为锁定头部参数提供密码保护，使临时用户无法更改重要设置。

可选的独立监视器 ( PPM100 ) 可用于在没有主机的情况下控制 RGA。

压力与时间

多头操作

当需要多个 CIS 时，该软件支持多头操作。该软件*多可监控 8 个 ECU。

泵送要求

CIS 仪器需要连接到有效抽速至少为 40 L/s 且基础压力低于10 -9  Torr的抽吸系统。连接端口是一个 2.75" Conflat ® 法兰。选项 O100TDP 提供一个涡轮泵，它与隔膜低真空泵一起直接安装到 CIS 泵头上。订购此选项时，整个分析仪都在工厂组装、测试和校准。用户可以提供自己的泵站；但是，用户有责任确保泵系统不会损坏或限制仪器的性能。

经济实惠的性能

图书馆模式

SRS CIS 系统以竞争模型的一小部分成本提供**的性能。标准系统包括法拉第杯探测器、电子倍增器探测器和 Windows 软件。选项包括用于交流线路操作的内置电源模块，以及包括涡轮分子泵和隔膜泵的泵送套件。

独联体尺寸图

笔记

1. CIS 测试使用 70 L/s 混合涡轮分子泵进行，由隔膜泵支持，连接到 CIS Cover Tee 的侧端口。2. 报告的 RGA 模式灵敏度是针对低于 10 -5  Torr的 N 2
计算得出的。 3. CIS 模式灵敏度是针对 N 2在 1 至 5 × 10 -4  Torr 下计算的。4. MDPP（*小可检测分压）通过在 10 -5（RGA 模式）和 10 -3存在28 N 2 的情况下测量法拉第杯检测的基线水平来确定

 托（CIS 模式）。当电子倍增器打开时，可检测性可提高多达 3 个数量级。