标准范围( 空气/用户可调 )¹

LFE1400 从 0-1000 Ln/min 至 0-1400 Ln/min

LFE1000 从 0-700 Ln/min 到 0-1000 Ln/min

LFE700 从 0-500 Ln/min 至 0-700 Ln/min

LFE500 从 0-350 Ln/min 至 0-500 Ln/min

气体

最大流量

CORE

PRIME

PRIME H2

空气

0-1400 Ln/min

✓

✓

✓

N2

0-1400 Ln/min

✓

✓

✓

Ar

0-1240 Ln/min

✓

✓

✓

He

0-1400 Ln/min

✓

✓

二氧化碳

0-740 Ln/min

✓

✓

一氧化碳

0-1390 Ln/min

✓

✓

H2

0-2900 Ln/min

✓

以上是为每个传感器预编程的默认气体。更多气体可作为选件添加²。
  ¹ 除非明确说明，否则zhiding的流量范围适用于 1013.25 bara （760 mmHg） 和 0 °C（32   °F） 的等效空气流量。其他常见的流量、温度和压力单位可通过 Vögtlin Connect 应用程序或数字通信接口进行选择。更多信息请参见d·flux操作说明。
  ² 其他气体或气体混合物可添加到上述标准列表中。每个单元最多可以存储 15 种气体。储存的气体可以用另一种气体或气体混合物（空气除外）代替。编程气体/混合物可通过 Vögtlin Connect 应用程序或数字通信接口进行选择。
  有关其他气体、气体混合物和参考条件，请联系工厂。仅适用于干燥和清洁的气体。

配置 文件

客户定义的配置文件

多达 15 个用户可编程配置文件配置文件是预设配置，客户可以在其中为多达 15 种不同的应用设置气体、范围、动态、累加器、工程单位和参考条件

性能数据

准确性

A1 Core：±用户满量程的 0.5% ±测量值的 1%。

B1 Prime：±用户满量程的0.3%±测量值的0.7%。

B2 Prime高精度：±用户满量程的0.3%±测量值的0.5%。

即将推出（氢气应用）：

B3 Prime H2：±用户满量程的 0.3% ±测量值的 0.7%。

B4 Prime H2高精度：±用户满量程的0.3%±测量值的0.5%。

用户满量程 = ～70…100%标准范围。

介质

与所选材料兼容且数据可在

NIST refprop 数据库中获得的所有气体和气体混合物。

请联系工厂了解更多信息。

动态范围

固定动态：大多数气体为 1：100* VADy 动态：高达 1：1000（仅适用于流量表）  在订购过程中可以选择 VADy®® 或固定动态范围。

可以使用 Vögtlin Connect应用程序随时更改此设置。 *动态范围取决于气体和压力，较高的压力意味着较低的动态范围。

响应时间

流量计：120毫秒/控制器：2000毫秒（根据SEMI标准SEMI E17-1011）* 更新时间质量流量值：10毫秒/传感器采样率：1毫秒

* 具有优化的过滤器设置。所有过滤模式和值都可以通过Vögtlin Connect应用程序或数字通信接口进行设置。

重复性

±工厂满量程的0.2%（根据SEMI标准E56-0309）

长期稳定性

常规配置 < 测量值的0.2%/年

电源

流量计：15-36 Vdc，（200 mA@24Vdc，稳压）/流量控制器：24 Vdc±10%，（2000mA@24Vdc，稳压） 通过 M8-4P 连接或可选的 D -sub 连接

供电（纹波峰峰值不应超过 100 mV）

我们建议本机的主体正确接地

操作压力

1 至 14 bar a

温度（环境/气体）

-20 至 +60 °C （-4 至 140 °F）

湿度气体

0-95% 相对湿度（无冷凝）

压力灵敏度

prime和prime H2 传感器：   <0.05%/bar 出厂满量程（空气）。

Core sensor：出厂满量程的 < 0.08%   + 测量值的0.1% /bar（空气）。

温度灵敏度

<0.02% FFS* 每 1 °C 进气温度 @ 7 bar a 压力

*工厂满量程（设备的最大流量范围）

精度温度

通常± 0.5 °C（未经认证）

精度 绝对压力

<0.5% MV（未经认证）

预热时间

<2秒，实现全精度

材料

接液部件

密封圈：现已上市：FKM，EPDM（仅限流量计）。EPDM（流量控制器，2023年上市）、

FFKM阀座（2023年上市）。完整的FFKM版本（应要求提供）。

阀体：不锈钢316L（1.4404）。

阀门（控制器）：316 （1.4401）、416 （1.4005）、430F （1.4104）。

入口过滤器：不锈钢 316 （1.4401），紧固不锈钢 （1.4122） 或同等产品。

A1 核心传感器：不锈钢 316Ti （1.4571），硅、金、玻璃、硅胶封装、PBT。

30GF，陶瓷。B1 主用传感器：不锈钢   316L （1.4404）。

B2 Prime H2 传感器：不锈钢 316L （1.4404），带金色涂层。

电子外壳

粉末涂层不锈钢

集成入口过滤器

50微米SS316（1.4401）过滤器/不可客户更换/紧固件材料SS（1.4122）

接液部件表面粗糙度

1.6 Ra μm 或更高（请联系工厂以获取更低的 Ra 值）

集成与安装

模拟信号输出

线性 4–20 mA 或客户定义（最大 20 mA）用户可选

线性 0–5 VDC 或 0-10 VDC 或客户定义（最大 10 V） 用户可选

mA 输出：740 欧姆最大负载电阻 电压输出：1000 欧姆最小负载电阻

所有模拟输出均经过电隔离和保护。如果与模拟信号一起使用，则增加0.2%的FFS不确定性

模拟信号设定值

线性 4–20 mA 或客户定义（最大 20 mA）用户可选

线性 0–5 VDC 或 0-10 VDC 或客户定义（最大 10 V）用户可选

数字信号输出

RS-485 （Modbus RTU 2线）

Modbus 地址可通过外壳外部的 2 个旋转开关进行设置。

所有Modbus设置都可以通过Vögtlin Connect应用程序进行设置。

可选ProfiNet或EtherCAT

带集成交换机的双端口 RJ45（易于菊花链） RJ45 LED 指示网络上的链路和活动 / 以太网速度：最大 100 Mbit

ProfiNet：PROFINET IO 规范 v2.33 / PROFINET IO 设备一致性等级 B （RT） / 字节序：符合西门子 S7（大）

EtherCAT：IEC 标准 IEC61158 / 字节序：小

Ethernet IP 将于 2023 年底上市。

配置界面

蓝牙4.0（免费的Vögtlin Connect应用程序可从Google Play商店获得）

输出 I/O mosfet

通过 M8-4P 连接器提供外部截止阀或报警的开/关

触点类型：mosfet   transistor

最大电压：36 Vdc，最大电流 500 mA（聚乙烯保护）

电气连接

9 针 D-sub 公头（电源和信号） M8-4P 连接器（集电极开路输出 + 电源）

可选 2 x RJ45 （以太网/丙烯）

过程连接

1“ BSPP 内螺纹 （G1”）

可选 1/2“ BSPP，1” 压缩接口 或 50.5mm 卡箍法兰 （ISO）（请参阅附件选项卡）

入口部分

如果安装了我们的标准入口过滤器/调节器，则不需要过滤器。

没有过滤器/调节器 建议使用 10 D 直管段入口 入口过滤器可在订购时取消选择

压降

流量计：出厂时标准 400 mbar 满量程空气排放到大气中（带过滤器/调节器）

可选：出厂时 325 mbar 满量程空气排放到大气中（无过滤器/调节器） 压降取决于工作压力（更高的压力 = 更低的压降）

欲了解更多信息，请咨询您的销售合作伙伴

控制器：1400 ln/min （空气），所需的最小压差 < 2 bar

请联系您的销售伙伴了解其他压降要求

安装方向

所有方向都可以

重量

流量计：3.7 千克/  流量控制器：8.7 千克（不包括以太网和配件）

安全

生产后的测试压力

28 bar a

最大过压传感器

核心传感器：28 bar a，prime和prime H2 传感器：90 bar a

破裂压力

流量计： 100 bar a / 流量控制器： 70 bar a

泄漏率

< 1 x 10-6 毫巴升/秒 He

防护等级

如果使用 IP54-D-sub，则达到 IP54（请参阅附件选项卡）

对于可选的EtherCAT/Profinet：IP40

认证

EMC

IEC/EN61326-1， IEC/EN61000-6-2/4

防爆认证

没有

材质证书

将于 2023 年发布（仅适用于仪表）

FDA

将于 2023 年发布（仅适用于仪表）

PED

合规。由于该装置具有 1“ 过程连接，因此符合压力设备指令（PED）（4/3/EU） 第 2014 条第 68 款中定义的SEP

RoHS / REACH

所有组件均符合 2002/95/EC （RoHS） 和 REACH 准则

保证

1年，除非使用某些腐蚀性/危险气体（HCL，CL2，F2，H2S，SO2）