Alicat艾里卡特标准型气体质量流量计快速，稳定，量程比宽，可同时测量98种以上气体的质量流量、体积流量、气体压力和气体温度，量程比0.01%到100%。

标准规格

l 满量程范围：所有气体0.5 SCCM至5000 SLPM(氢气10000 SLPM)

l 测量范围：满量程的0.01%–100%

l 精度：读数的±0.6%或满量程的±0.1%，以较高者为准

l 可选高精度：读数±0.5%或满量程±0.1%，以较大者为准

l 重复性：读数的0.1%和满量程的0.02%

l 响应时间：< 10ms

l 工作温度:-10℃到+60℃

l 满量程工作压力:160 PSIA (11 barA)

Alicat艾里卡特标准型气体质量流量计

特点

l 同时测量体积流量，质量流量，气体压力，气体温度。

l 现场可调的工程单位和STP/NTP条件。

l 可从98+预加载NIST可追溯气体校准选择过程气体。

l 定义和存储多达5种成分气体的20种定制气体混合物。

l 使用集成触摸板从背光显示和控制配置中读取测量值。

l 可选集成流量累加器和报警器。

构成和性能选项

l 通信:Analog, RS-232, RS-485, Modbus RTU, Modbus TCP/IP, DeviceNet，EtherCAT，EtherNet/IP，Profibus，PROFINET

l 过程连接 :NPT, SAE, AN, BSPP/G，压缩，VCR, VCO

l 显示屏:背光单色或彩色;集成或面板;无

l 密封圈: F-KM、F-KM、EPDM、硅树脂

l 校准: 标准或高精度;定制校准点

M系列低流量设备尺寸

M系列中流量设备尺寸

M系列高流量设备尺寸