Alicat MCES防腐蚀气体质量流量控制器

（半导体行业专用）

• 插入式兼容性。外形包括焊接 1/4 英寸 VCR 配件，并与 SEMI 标准 MFC 的 124 毫米端到端长度相匹配。

• 多功能且准确。对 98 多种气体和 20 种自定义混合物进行实时控制，精度可达 NIST 可追溯的读数的 ±0.5% 或满量程的 ±0.1%。

• 轻松集成。 定制过程端口和电气连接器，以及您选择的 EtherNet/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、PROFINET、Modbus（RTU 和 TCP/IP）或串行通信，以便轻松集成到您的工业过程中。

MCES 系列性能（大多数产品）

• 可用满量程范围： 0.5 SCCM 至 20 SLPM

• 稳态控制范围：满量程的0.01% – 100%

• 标准精度校准，NIST 可追溯：读数的 ± 0.6% 或满量程的 ±0.1%，以较大者为准

• 可选高精度校准，NIST 可追溯：读数的 ±0.5% 或满量程的 ±0.1%，以较大者为准

• 重复性： ±（读数的0.1% + 满量程的0.02%）

• 典型控制响应时间：快至 30 ms

• 预热时间： <1秒

MCES 系列操作条件

• 兼容气体： 98 种以上预加载的可选气体校准

• 工作温度： –10°C 至 +60°C

• 满量程工作压力： 160 PSIA

• 最大压差： 75 PSID

• 耐压： 175 PSIA

• 用户可选择的参考条件（默认）：  25°C & 1 ATM (STP) 和 0°C & 1 ATM (NTP)

Alicat MCES防腐蚀气体质量流量控制器

设备范围和规格

0.5 SCCM 至 20 SLPM

• 多变量过程测量：同时测量质量流量、体积流量、气体压力和气体温度。

• 用户可更改测量单位：从我们广泛的工程单位列表中更改压力、流量或温度的测量单位。

• 气体选择性： 从我们的气体列表中预装的 98 多种 NIST 可追踪气体校准中选择您的工艺气体 。

• Gas Select Composer™： 使用我们的Gas Select Composer ™固件定义最多 5 种成分气体的 20 种自定义气体混合物 。

• 带集成触摸板的单色背光 LCD： 使用背光显示屏轻松读取测量值，并通过用户友好的集成触摸板控制配置。

• 用户可调节的设定点斜坡和限制：可配置的斜坡速率允许根据需要控制过程变量的快或慢，并且可配置的设定点限制可保护过程免受无意的设定点变化的影响。

• 用户可调节标准温度和压力 (STP) 条件： 快速 更改参考条件， 无需重新校准。

• 阀门关闭超控和阀门打开超控：利用警报快速排气系统或根据需要停止所有流量。

购买时要求 | 自由的

• 可选的集成累加器和批量控制：每 1 毫秒累加一次质量流量，以便精确跟踪一段时间内的总流量，并使用批量控制来分配精确的体积。

构建和性能选项

• 通信协议：模拟、RS–232、RS–485、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Modbus RTU 或 TCP/IP、PROFIBUS、PROFINET

• 显示屏：单色或彩色背光；集成或面板安装

• 过程连接：压缩、VCR 或 VCO 接头

• 接液材质： 302、303、304、316L、430FR不锈钢；FKM、氧化铝陶瓷、黄铜、玻璃、金、热固化环氧树脂、热固化硅橡胶、聚酰胺、硅

• 校准：高精度；自定义校准点

阀门选项和 PID 调节

您的质量流量控制器可以使用以下阀门选项之一进行定制，以确保在您预期的过程条件下获得更佳性能。

• MCE：内置小型比例控制阀

定制 PID 阀门调节可确保您的特定过程条件发挥最大性能。