Alicat艾里卡特耐腐蚀系列气体质量流量计规格：

定制范围从 0.5 SCCM 到 5,000 SLPM

· 量程范围：0.5 SCCM 至 5,000 SLPM (10,000 SLPM for H2)

· 测量范围： 1% – 100% F.S.

· 精度：读数的0.8% 和 0.2% F.S.

· 可选高精度：读数的0.4% 和 0.2% F.S.

· 重复性：±0.2% F.S.

· 响应时间：<10 毫秒

· 工作温度：–10°C 至 +60°C

· 工作压力：160 PSIA (11 barA)

Alicat艾里卡特耐腐蚀系列气体质量流量计功能和附件：

· 同时测量体积流量、质量流量、气体压力和气体温度。

· 现场可调工程单位列表和 STP/NTP 条件。

· 从 98 多种预加载的 NIST 可溯源气体校准中选择工艺气体。

· 自定义和存储多达 5 种成分气体的 20 种自定义气体混合物。

· 使用集成触摸板从背光显示屏和控制配置中读取测量值。

· 标配流量累加器和警报器

电源、电缆和附件单独出售

组成和性能选项：

· 通信：模拟、RS-232、RS-485、Modbus RTU、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus

· 过程连接：NPT、SAE、AN、BSPP/G、压缩、VCR、VCO

· 显示屏：背光单色屏或TFT彩屏，一体化集成或面板单独安装

· 接液材质：316L不锈钢&FFKM；根据需要 FKM 或 EPDM

· 校准：标准或高精度；自定义校准点