Alicat艾里卡特耐高压系列气体质量流量计规格：

可定制量程 10 SCCM -1000 SLPM

标准规格：

· 量程: 10 SCCM至5000 SLPM(10,000 SLPM for H2)

· 量程比: 0.1% – 100% 满量程

· 精度: ±0.6% 读数或± 0.1% 满量程,以两者中较大者为准

· 重复性:  +0.1% 满量程

· 响应时间: < 10 ms

· 工作温度: –10℃ to +60℃

· 工作压力: 320 PSIA (22 barA)

Alicat艾里卡特耐高压系列气体质量流量计特点：

· 同时测量体积流量、质量流量、气体压力和气体温度

· 可调整的工程单位和STP/NTP条件

·  98+内置气体自由切换，并具有NIST可追溯精度

· 可自定义和储存 20 种气体混合物(多达5种气体)

· 背光显示器并使用集成触摸板控制配置

· 标配流量累加器以及警报器

配件：

· 电源、电缆和配件（单独售出）

组成和性能选项：

· 通讯模式: Analog, RS–232, RS–485, Modbus RTU, Modbus TCP/IP, DeviceNet, EtherCAT, EtherNet/IP, Profibus, PROFINET

· 过程连接 : NPT, SAE, AN, BSPP/G, compression, VCR, VCO

· 显示屏 : 背光单色屏或TFT彩屏；一体化集成或面板单独安装

· 密封圈: FKM, FFKM, EPDM, Silicone

· 校准: 自定义校准点